半導體檢查顯微鏡產品介紹
半導體檢查顯微鏡MX61L
能對應300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動型號（反射透射兼用）
應對明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時自動調節連動的亮度光圈等，實現了舒適的檢查環境。配備14×12英寸載物臺，能應對大型樣本。
半導體／FPD檢查顯微鏡MX61L
半導體／FPD檢查顯微鏡MX61L
觀察影像實例
晶圓（明視場觀察） 晶圓（暗視場觀察）
晶圓（微分干涉觀察） 彩色濾色片（透射觀察）
半導體檢查顯微鏡技術參數
半導體／FPD檢查顯微鏡 MX61L 規格 | |||
光學系統 | UIS2光學系統（無限遠校正） | ||
機身 | 觀察方法 | 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 | |
反射/透射 | 反射/透射 | ||
照明裝置 | 機身一體型（明視場，暗視場＋1選件） | ||
照明系統 | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | |
透射照明 | 纖維光導 | ||
對焦單元 | 電動/手動 | 手動 | |
行程 | 32 mm | ||
分辨率/微調靈敏度 | 微調旋鈕轉動1周移動0.1 mm | ||
最大樣本高度 | 30 mm | ||
物鏡轉換器 | 電動型 | 明視場微分干涉6孔 | |
手動式 | - | ||
載物臺 | 行程 | 14×12 英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm（透射照明范圍356×284 mm） | |
觀察筒 | 廣角視場（視場數22） | 倒置 | 雙目/三目觀察筒 |
正像 | 三目觀察筒 | ||
超寬視場（視場數26.5） | 倒置 | 三目觀察筒 | |
正像 | 傾斜三目觀察筒 | ||
附件單元 | DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載 | ||
外形尺寸 | 710（W）×843（D）×507（H）mm（標準組合） | ||
重量 | 51 kg（標準組合） | ||
半導體檢查顯微鏡標準配置
配置 | ||
序號 | 名稱 | 數量 |
1 | 主機 | 1 |
2 | 光學系統 | 1 |
3 | 照明裝置 | 1 |
4 | 對焦單元 | 1 |
5 | 物鏡轉換器 | 1 |
6 | 載物臺（可選） | 1 |
7 | 觀察筒（可選） | 1 |
8 | 附件單元 | / |
半導體檢查顯微鏡可選配件
半導體檢查顯微鏡相關視頻
半導體檢查顯微鏡資料下載
半導體檢查顯微鏡相關產品
Leica DM4 B 或 Leica DM6 B正置雙目生物顯微鏡都是生物醫學研究和臨床實驗應用的理想之選，能顯著提升工作效率，令您的工作變得更加輕松。通過自動化功能和便捷的軟件簡化工作流程。
型號:DM2500 LED
Leica DM2500 和 DM2500 LED 顯微鏡是生命科學常規和研究應用中應對艱巨任務的終極工具。憑借強大的透射光照明、高品質的光學性能以及技術先進的附件，Leica DM2500 和 DM2500 LED 特別適合要求微分干涉相襯或高性能熒光等頗具挑戰性的生命科學研究任務。
