檢查顯微鏡產品介紹
可以觀察的最大硅片直徑為200mm
觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）
ECLIPSE L200N 反射照明專用 ECLIPSE L200ND 反射.透射照明專用
觀察性能提升
擴大檢查范圍的反射熒光觀察（L200ND）
反射照明觀察，除可進行明場、暗場、微分干涉觀察之外，更可進行UV（365nm)激發的反射熒光觀察。
對于半導體感光薄膜的殘渣、有機EL顯示面板的觀察發揮了很大的威力。
使用物鏡：CFI LU PLAN FLUOR 10X
硅片的明場觀察 暗場觀察 微分干涉觀察 反射熒光觀察
反射熒光觀察用的電動水銀光纖光源[強光](L200ND)
光源采用了預定心電動水銀光纖光源[INTENSILIGHT]。更換燈泡時不用進行燈絲調心和對焦。
燈箱可與主機分離設置，以降低光源發熱對顯微鏡的影響。6段式的調光機能和快門機能，實現了良好的操作性。
約2000小時超長使用壽命的燈泡大幅降低了使用成本。
操作性能提升、理環保
比12V100W更亮的高亮度12V50W鹵素燈采用了12V50W的[LV-LH50PC預定心燈箱]，與12V100W相比，耗電量削減了約一半，又可達到與其同等甚至更亮的亮度。
燈絲位置經過優化設計，且燈箱里有反光鏡，使照明視場均勻，并提高照明效率。特別是用到50倍以的高倍物鏡時，能得到比12V100W亮約20%的觀察圖象。
更環保，也能防止因熱量而造成的焦面偏移的干擾。
抗污染的防靜電涂層
主機、載物臺、鏡筒均涂有消靜電涂層。為了提高抗污染能力，防止工件因靜電感應而受損，從而提高成品率。
可調節到最佳位置進行觀察的正立調傾式三目鏡筒
視場數25的超大視場，可任意設定0～30°的觀察角度。根據使用者體型和觀察姿勢的不同，可將三目鏡筒調節到最佳位置松隨意的進行觀察。
載物臺微調手輪無需移動工件
不用移動工件，載物臺微調手柄位置固定于顯微鏡主機操作部旁。
所有的操作部都盡在手邊，移動載物臺、對焦等顯微操作，不用抬手，只需動動手腕就可輕松執行。
耐久性比以前高3倍的電動通用物鏡轉換器
最多可以安裝到6個物鏡。和偏心較小的物鏡結合使用，用高倍物鏡觀察時切換倍率也很少會出現圖象閃動現象。
從低倍到高倍的自由切換更穩定。考慮到使用者，在旋轉物鏡轉換器時會自動切斷照明光路，避免光直接照射使用者眼晴。
對焦目標
對焦目標可移入光路，這一特性對于裸硅片之類的低對比度工件的正確對焦成為方便。
顯微鏡操作部位集中于底座前部
操作手輪、按鍵等，都集中于底座前部，更便于使用。一看就能快捷高效的進行顯微操作。大大減輕了長時間觀察的疲勞感。
獲取最佳圖象，提升與顯微鏡用數碼相機的聯動力
實現了從觀察到圖象拍攝、分析的最佳整體化
·尼康開發提供了便于使用的顯微鏡、數碼相機和軟件一體化的高機能設備系統。
·支持從設定最佳觀察條件，到數碼拍攝→處理→分析的整個流程。
用于LSI檢查顯微鏡 ECLIPSE L200N
Wafer Loader NWL200系列
與ECLIPSE L200N相結合，對應最新的硅片檢查需要。
運用獨立的尼康高端技術，穩定傳輸超薄型100um硅片。
檢查顯微鏡技術參數
型號 | ECLIPSE L200N | ECLIPSE L200ND |
主機 | 內置12V-50W鹵素燈光源；內置用于電動控制器的電源；用于物鏡轉換器的電動控制器、鹵素燈照明控制、 | |
物鏡：對中功能的電動通用六座物鏡轉換器 | ||
—— | 反射/透射轉換 | |
調焦系統 | 對焦部:行程29mm | |
反射照明系統 | 內置12V-50W鹵素燈光源 | |
照明系統 | — | 內置12V-50W高亮度鹵素燈照明裝置 |
端口 | USBx1，RS232C（用于Intensilight)x1 | |
目鏡筒 | L2-TTA超大視場正立調傾式三目鏡筒（視角0～30°） | |
L2-TT2A超大視場正立調傾式三目鏡筒（俯角0～30°） | ||
LV-T13正立三目鏡筒 | ||
目鏡 | CFI目鏡 | |
物鏡 | CFI60系列物鏡 | |
載物臺 | L2-S8A 8x8載物臺、行程205mmx205mm（透射觀察范圍：150mmx150mm） | |
抗靜電功能 | 從1000到10V放電時間在0.2秒以內 | |
功率消耗 | 1.2A/90W | |
外形尺寸 | 大約360 (W) x 860 (D) x 580 (H) mm（ 傾斜角度為10°時） | |
重量 | 主機：大約30kg | |
檢查顯微鏡標準配置
主機；
鹵素燈光源；
6孔物鏡轉換器；
調焦機構；
反射照明系統；
照明系統；
目鏡筒；
CFI目鏡；
CFI60系列物鏡；
載物臺；
檢查顯微鏡可選配件
目鏡筒：L2-TTA超大視場正立調傾式三目鏡筒；
L2-TT2A超大視場正立調傾式三目鏡筒；
LV-T13正立三目鏡筒；
檢查顯微鏡相關視頻
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