掃描電子顯微鏡產品介紹
掃描電子顯微鏡 Helios 5 EXL DualBeam產品介紹：
Thermo Scientific Helios 5 EXL DualBeam是一種 300 mm 全晶圓聚焦離子束掃描電子顯微鏡 (FIB-SEM)，設計用于解決半導體工業中的 TEM 樣品制備難題。
Helios 5 EXL DualBeam掃描電子顯微鏡 能夠為當今極為先進的工藝節點制備樣品，包括子 5nm 和環繞式柵極技術。
極大提高樣品處理量和生產率
Helios 5 EXL DualBeam 采用先進的機器學習和閉環端點定位，提供更高的切割放置精度，并使您能夠從極具挑戰性的樣品中始終如一地提取高質量片晶。
先進的機器學習自動化功能使超薄 TEM 樣品生成具有常規性和一致性，為以亞納米級分辨率測量更多界面、薄膜和輪廓提供了卓越的亞納米級洞察力。Helios 5 EXL DualBeam 通過將晶圓和缺陷導航與配方定義和執行結合在一個完全集成的程序中，確保高效和一致的 TEM 樣品制備工作流程。這種自動化支持更高的工具與操作員比率，極大提高樣品處理量和技術資源生產率。
掃描電子顯微鏡 Helios 5 EXL DualBeam主要特點
自動 TEM 樣品制備軟件
Thermo Scientific AutoTEM 5 軟件將晶圓和缺陷導航與配方定義和執行結合在一個完全集成的程序中，確保具有不同專業水平的操作員之間的效率和一致性。AutoTEM 軟件簡化了 TEM 樣品制備，使用戶能夠輕松地安排多站點作業，實現倒置、俯視和自上而下的 TEM 樣品制備工作流程。
可重復、自動沉積和刻蝕
Thermo Scientific MultiChem 氣體輸送系統專為支持自動化 TEM 制備而開發，具有高度一致的沉積和刻蝕能力，可用于自動化應用。具有保存位置預設的電動進樣針可精確定位，以優化向樣品表面的可重現氣體輸送。MultiChem 氣體輸送系統的設計還具有適用性，可極大延長工具正常運行時間。
用于先進的樣品制備的精密 FIB 研磨
Helios 5 EXL DualBeam 包括 Thermo Scientific Phoenix 離子柱，提供革命性的低電壓性能和領先的 TEM 樣品制備。
自動對齊、高分辨率和一致的結果
高性能 Thermo Scientific Elstar 電子柱采用我們獨特的 UC 單色技術，提供更高的分辨率和 TEM 樣品端點定位。新的 SEM 自動對齊確保多個工具和操作員的結果一致。
自動樣品操作和提升
通過采用直觀的方法將 TEM 樣品提離并轉移到柵格中，Thermo Scientific EasyLift 納米操縱器可提供低漂移、高精度運動，可簡單一致地創建傳統或超薄 TEM 片晶。高精度、易用和快速電動旋轉使 EasyLift 納米操縱器非常適合高速倒置或俯視樣品制備。
FAB 兼容自動化 FOUP 上樣器 (AFL) 選項
可選的自動化 FOUP 上樣器 (AFL) 使 Helios 5 EXL DualBeam 能夠位于半導體晶片晶圓廠中。通過更接近晶片工藝線（近線），可提供比基于實驗室的裂解晶片分析快三倍的關鍵信息，從而加速新工藝的開發并實現大批量生產的良率提升。
掃描電子顯微鏡 Helios 5 EXL DualBeam產品應用
半導體探索和開發
先進的電子顯微鏡、聚焦離束和相關半導體分析技術可用于識別制造高性能半導體器件的可行解決方案和設計方法。
良率提升和計量
我們為缺陷分析、計量學和工藝控制提供先進的分析功能，旨在幫助提高生產率并改善一系列半導體應用和設備的產量。
半導體故障分析
越來越負載的半導體器件結構導致更多隱藏故障引起的缺陷的位置。我們的新一代半導體分析工作流程可幫助您定位和表征影響量產、性能和可靠性的細微的電子問題。
物理和化學表征
持續的消費者需求推動了創建更小型、更快和更便宜的電子設備。它們的生產依賴高效的儀器和工作流程，可對多種半導體和顯示設備進行電子顯微鏡成像、分析和表征。
掃描電子顯微鏡技術參數
掃描電子顯微鏡 Helios 5 EXL DualBeam產品規格：
Thermo Scientific Phoenix 離子柱
鎵聚焦離子束
最大射束電流可達 65 nA
可實現高樣品制備質量的低電壓 (500 V) 性能
離子束在重合點和 30 kV 處的分辨率：使用首選統計方法時為 4.0 nm
離子源使用壽命：保證 1,000 小時
Thermo Scientific Elstar 電子柱
超高分辨率浸沒透鏡場發射 SEM (FESEM) 鏡筒
超穩定肖特基場發射槍采用 UC+ 單色器技術
電子束分辨率：
15 kV 下 1.0 nm
1 kV 下 0.9 nm
電子源使用壽命：12 個月
氣體輸送
Thermo Scientific MultiChem 氣體輸送系統
適用于最多 6 種單一化學品的槽
單氣體進樣系統
適用于最多 3 個獨立 GIS 單元的端口
檢測器
Elstar 鏡筒內 SE 檢測器 (TLD-SE)
Elstar 鏡筒內 BSE 檢測器 (TLD-BSE)
用于二級離子 (SI) 和二級電子 (SE) 的高性能離子轉換和電子 (ICE) 檢測器
樣品處理
使用 EFEM 自動處理 300 mm FOUP（符合 GEM300 標準）
手動加載 300 mm、200 mm 和 150 mm 晶片
